[发明专利]一种用于超大功率GaN微波器件高隔离度微波测试夹具

摘要

本发明公开了一种用于超大功率GaN微波器件高隔离度微波测试夹具，属于半导体器件测试技术领域。本发明包括测试盒体、PCB板、压块、直流偏置引出端、射频输入输出引出端，PCB板置于测试盒体内，PCB板包括馈电匹配电路和射频输入输出微带；馈电匹配电路分为栅极馈电匹配电路和漏极馈电匹配电路两部分，栅极馈电匹配电路包括双扇形线、两个RC滤波网络、栅极偏置电阻、栅极滤波电容，漏极馈电匹配电路包括双扇形线、两个RC滤波网络、漏极滤波电容；直流偏置引出端由两个穿心电容从馈电匹配电路上引出；射频输入输出引出端为同轴传输转微带传输接头。本发明解决了微波器件超大功率测试过程中存在漏极泄露射频信号隔离度不够的问题，能够避免直流偏置模块烧毁，保证测试结果真实有效。

主权项

一种用于超大功率GaN微波器件高隔离度微波测试夹具，其特征在于，包括测试盒体(1)、PCB板(2)、压块、直流偏置引出端、射频输入输出引出端，PCB板(2)置于测试盒体内，PCB板(2)包括馈电匹配电路和射频输入输出微带(3)；馈电匹配电路分为栅极馈电匹配电路和漏极馈电匹配电路两部分，栅极馈电匹配电路包括两个扇形线(11)、两个RC滤波网络(12)、栅极偏置电阻(6)、栅极滤波电容(9)，漏极馈电匹配电路包括两个扇形线(11)、两个RC滤波网络(12)、漏极滤波电容(10)；直流偏置引出端由两个穿心电容从馈电匹配电路上引出，一个穿心电容芯子一端焊接在栅极馈电加电端，该穿心电容芯子的另一端通过导线与直流偏置模块A连接，另一个穿心电容芯子一端焊接在漏极馈电加电端，该穿心电容芯子的另一端通过导线与直流偏置模块A连接；射频输入输出引出端为同轴传输转微带传输接头(4)，同轴传输转微带传输接头(4)包括分设于测试盒体(1)两侧的射频输入接头和射频输出接头，射频输入接头与器件栅极通过射频输入微带连接，之间加隔直电容(13)起隔直作用；射频输出接头与器件漏极通过射频输出微带连接，之间加隔直电容(13)起隔直作用；压块有四个引出端，其中两个固定器件源极、一个固定栅极、一个固定漏极。