[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201610023936.5 | 申请日： | 2016-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN106246563B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 筒井慎吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/52;F04D29/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涡轮分子泵，能够实现维护成本的降低。涡轮分子泵(1)包括：涡轮翼泵部(TP)，包含固定翼(21)及旋转翼(12)；牵引泵部(DP)，比涡轮翼泵部(TP)设置得靠排气下游侧；以及保护构件(40)、保护构件(41)、保护构件(42)，以覆盖比涡轮翼泵部TP靠排气下游侧的接触气体面的方式能够装卸地设置，防止堆积物对接触气体面的附着。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
一种涡轮分子泵，其特征在于包括：涡轮翼泵部，包含固定翼及旋转翼；牵引泵部，比所述涡轮翼泵部设置得靠排气下游侧；以及保护构件，以覆盖比所述涡轮翼泵部靠排气下游侧的接触气体面的方式能够装卸地设置，且防止堆积物对所述接触气体面的附着。
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