[发明专利]高通量生物薄膜的制备方法和应用有效
申请号: | 201610022507.6 | 申请日: | 2016-01-14 |
公开(公告)号: | CN105603361B | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 茆胜;刘威;元崑;李玲 | 申请(专利权)人: | 深圳市国创新能源研究院 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/34;B05D1/40 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种高通量生物薄膜的制备方法,包括以下制备步骤准备自相似掩膜,根据制备目的,设置基片与所述第一掩膜的相对位置;通过转动所述第一掩膜,在所述基片的四个象限上分别沉积四种不同的沉积组分;引用其他掩膜,重复上述沉积步骤,不同的沉积组分可以选择性地沉积于所述基片的固定位置;上述沉积步骤可以一直继续下去,即以n层、共4×n步的薄膜沉积,得到4n个不同组分的生物薄膜;将所有生物薄膜进行退火处理,从而制得高通量生物薄膜,该薄膜可用于生物医疗领域,具有重大意义。 | ||
搜索关键词: | 通量 生物 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
高通量生物薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下制备步骤:S01、准备四个自相似掩膜,分别为第一掩膜、第二掩膜、第三掩膜和第四掩膜,其中,每个掩膜呈正方形设置,所述第一掩膜包括4个平行设置于基片上的开口,所述4个开口将所述基片划分为4个象限;S02、根据制备目的,准备沉积组分,准备用于沉积的基片,其中,所述沉积组分根据制备目的而定,可以为有机物,还可以是无机盐;S03、根据制备目的,设置基片与所述第一掩膜的相对位置确定沉积的位置;S04、沉积组分步骤:S041、用第一掩膜选定任一个象限开始沉积,另外三个象限遮蔽且露出选定象限的基片位置,沉积完一层后再旋转至另一个象限沉积,如此继续操作,在另外三个象限上沉积所需的沉积组分,得到含有4个不同材料样品的材料库;S042、引用第二掩膜将步骤S041所述4个象限中每一象限分成4个子象限,并以步骤S041相同的方法沉积,得到含有16个不同材料样品的材料库;S043、引用第三掩膜、第四掩膜以步骤S042相同的方法沉积,每4步完成一层薄膜的沉积,相应的样品数增加4倍,分别可得到含有64个、256个不同材料样品的材料库;S05、使用第三掩膜和第四掩膜重复上述沉积步骤,不同的沉积组分可以选择性地沉积于所述基片的固定位置;上述沉积步骤可以一直继续下去,即以n层、共4×n步的薄膜沉积,得到4n个不同组分的生物薄膜;S06、将所有生物薄膜进行退火处理;其中,所述沉积组分可以通过脉冲激光溅射沉积法或旋转涂布法沉积于设有掩膜的所述基片上。
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