[发明专利]加热装置在审
| 申请号： | 201610021337.X | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN106967952A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 于甄;解金库;孔德兴 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 赵囡囡,吴贵明 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加热装置，用于蒸发有机膜料，加热装置包括第一坩埚，第一坩埚用于盛放有机膜料；第二坩埚，第二坩埚用于承载第一坩埚；电子束加热器，电子束加热器用于向第二坩埚发射均匀的电子束并对第二坩埚进行加热，第二坩埚用于向第一坩埚导热。通过本发明提供的技术方案，能够解决现有技术中温度控制精度低、有机膜料受热不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种加热装置，用于蒸发有机膜料，其特征在于，所述加热装置包括：第一坩埚(10)，所述第一坩埚(10)用于盛放所述有机膜料；第二坩埚(20)，所述第二坩埚(20)用于承载所述第一坩埚(10)；电子束加热器，所述电子束加热器用于向所述第二坩埚(20)发射均匀的电子束并对所述第二坩埚(20)进行加热，所述第二坩埚(20)用于向所述第一坩埚(10)导热。
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