[发明专利]超纯石英玻璃的制备方法有效
| 申请号： | 201610019268.9 | 申请日： | 2016-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN105502897B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 孙元成;宋学富;杜秀蓉;张晓强;王慧 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B19/14 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种超纯石英玻璃的制备方法，采用化学气相沉积工艺，使用电感耦合等离子体火焰作为热源，以空气和氩气的混合气体作为等离子体电离气体，以含硅化合物为原料，以氧气与氦气的混合气体作为载料气体,所述载料气体携带气化的上述含硅原料通过加料器通入分段保温式沉积炉中发生反应,生成二氧化硅颗粒，沉积在石英玻璃基体上，随着沉积面的生长，降低石英玻璃基体以保持沉积面高度不变，逐渐形成石英玻璃块体。本发明石英玻璃的制备方法沉积速率可达180g/h，得到的石英玻璃羟基含量小于1ppm，金属杂质含量小于1ppm，直径在200mm以上，光学均匀性高，无气泡、杂点、条纹等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超纯石英玻璃的制备方法，其特征在于，采用化学气相沉积工艺，使用电感耦合等离子体火焰作为热源，以空气和氩气的混合气体作为等离子体电离气体，以含硅化合物为原料，以氧气与氦气的混合气体作为载料气体,所述载料气体携带气化的上述含硅原料通过加料器通入分段保温式沉积炉中发生反应,生成二氧化硅颗粒，沉积在石英玻璃基体上，随着沉积面的生长，降低石英玻璃基体以保持沉积面高度不变，逐渐形成石英玻璃块体；所述分段保温式沉积炉，炉体顶段为弧形顶盖部分，使用电热装置辅助加热，使顶段温度为1500℃‑1800℃；中段分为2‑5个保温段，采用电热装置辅助加热，使炉体中部温度为1000℃‑1500℃，并且温度自上而下依次降低；下段采用循环水冷却装置，使炉体下部温度保持在500℃以下。
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