[发明专利]干涉物镜和光干涉测量装置有效
| 申请号： | 201610006884.0 | 申请日： | 2016-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN105758294B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 本桥研 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邸万奎;励晓林 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 干涉物镜，包括：物镜系统；分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 物镜 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.干涉物镜，包括：/n物镜系统；/n分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；/n参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；/n镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；/n支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述球面形内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及/n参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置，/n还包括并入了支撑组件的镜筒，其中，镜保持组件包括从球面形外表面伸出、且在其末梢端被提供有倾斜表面的伸出部，/n参考镜调节机构包括：调节螺孔，其被置于与镜筒的伸出部相对应的位置；以及调节螺钉，其被沿螺纹插入调节螺孔，且紧靠伸出部的倾斜表面，并且，根据调节螺钉的旋紧量来调节镜保持组件的倾斜量，/n其中，镜保持组件的伸出部被提供在镜保持组件的外周的至少90度上，并且提供调节螺孔，使得其能够在对着伸出部的末梢端且在至少90度上延伸的范围中移动。/n
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