[发明专利]一种室温下NH3气敏传感器件及制备方法在审
| 申请号： | 201610000268.4 | 申请日： | 2016-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN105510403A | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 赵利;庄军;朱苏皖 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于气体传感器技术领域，具体为一种室温下NH3气敏传感器件及其制备方法。本发明制备方法是使用物理或者化学刻蚀的方法，在一定厚度的、电阻率为1-10Ω·cm的p型单晶硅片表面形成尺度为1-10μm的准周期性微结构，并在真空中对微结构表面进行热蒸发或者磁控溅射镀膜，形成金属电极，制成氨敏传感器件。该器件材料制备简单，成本低廉，克服了普通氨敏传感器工作温度高，响应及恢复速度较慢等缺点，在室温下对ppm级氨气具有极快的响应时间和恢复时间，同时具有较高灵敏度和选择性，在NH3检测传感领域具有广阔应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 室温 nh sub 传感 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种室温下NH3气敏传感器件，其特征在于，是利用物理或化学刻蚀方法，在单晶硅片表面形成准周期性微结构，并通过热蒸发镀膜或者磁控溅射方法形成电极而得到。
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