[发明专利]带电粒子射线装置、使用带电粒子射线装置的观察方法及程序有效
| 申请号： | 201580084713.3 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN108292578B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 千叶宽幸;星野吉延;川俣茂 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/24 | 分类号： | H01J37/24;H01J37/22 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张鑫;俞丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种带电粒子射线装置，即使在观察图像的倍率与显示观察位置的图像的倍率有较大差异的情况下，也能在该带电粒子射线装置中示出观察位置。带电粒子射线装置包括：显示操作画面的显示部，该操作画面具有显示观察图像的观察图像显示部(201)、以及显示所述观察图像的观察位置的观察位置显示部(203)；以及对所述操作画面的显示处理进行控制的控制部，所述控制部基于获取到所述观察图像时的倍率及坐标来将所述倍率不同的多个观察位置显示用图像(204、301)重叠显示于所述观察位置显示部。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 射线 装置 使用 观察 方法 程序 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子射线装置，其特征在于，包括：光学系统，该光学系统对载置于试料台的试料照射带电粒子射线；至少一个检测器，该检测器检测从所述试料发出的信号；拍摄装置，该拍摄装置从检测出的所述信号获取观察图像；用于变更所述试料的观察位置的机构，该机构至少具备使所述试料台移动的平台与改变所述带电粒子射线的照射位置的偏转器中的至少一方；显示部，该显示部显示操作画面，该操作画面具有显示所述观察图像的观察图像显示部以及显示所述观察图像的观察位置的观察位置显示部；以及控制部，该控制部对所述操作画面的显示处理进行控制，所述控制部基于获取到所述观察图像时的倍率及坐标来将所述倍率不同的多个观察位置显示用图像重叠于所述观察位置显示部进行显示。
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