[发明专利]带电粒子射线装置及带电粒子射线装置中的图像处理方法

摘要

本发明的带电粒子射线装置包括：带电粒子射线源；将来自所述带电粒子射线源的带电粒子射线照射至试料的带电粒子射线光学系统；对通过照射所述带电粒子射线而从所述试料产生的二次信号进行检测的检测器；以及对从所述二次信号获得的图像数据执行累积处理并输出累积图像的图像处理部，所述图像处理部执行归一化累积运算，输出在累积过程中所述累积图像的亮度值始终为“1”的状态的累积图像。

主权项

1.一种带电粒子射线装置，其特征在于，包括：/n带电粒子射线源；/n带电粒子射线光学系统，该带电粒子射线光学系统将来自所述带电粒子射线源的带电粒子射线照射至试料；/n检测器，该检测器检测由于所述带电粒子射线的照射而从所述试料产生的二次信号；/n图像处理部，该图像处理部对从所述二次信号获得的图像数据执行累积处理，输出累积图像；以及/n显示部，该显示部将累积途中所输出的所述累积图像进行显示，/n所述图像处理部执行累积过程中所述累积图像的亮度值的归一化累积运算，/n所述图像处理部包括：/n存储部，该存储部存储所述累积图像；/n第1乘法器，该第1乘法器将由所述二次信号获得的图像数据乘上第1系数而得到的第1图像数据进行输出；/n第2乘法器，该第2乘法器将前一个累积图像乘上第2系数而得到的第2图像数据进行输出；以及/n加法器，该加法器将所述第1图像数据与所述第2图像数据相加并输出所述累积图像，/n每一次所述归一化累积运算中的所述第1系数与所述第2系数都随着本次所述归一化累积运算的当前执行次数而变动，所述第1系数与所述第2系数的和为“1”。/n