[发明专利]具有改进的凹部或者空腔结构的微型机械装置

摘要

本发明提供了一种传感器，其包括第一衬底和第二衬底。所述第一衬底包括第一侧和相对的第二侧，其中，所述第一侧具有凹部。所述凹部由一个或者多个侧壁和底壁限定。所述侧壁中的一个或者多个大体上垂直于所述底壁。感测膜片限定在所述第一衬底的所述第二侧与所述凹部的所述底壁之间。凸起从所述凹部的所述底壁延伸。所述第二衬底可以包括第一侧和相对的第二侧，其中，所述第一侧具有凹部。可以将所述第一衬底的所述第一侧固定到所述第二衬底的所述第一侧，从而使所述第一衬底中的所述凹部面向所述第二衬底中的所述凹部并且与所述第二衬底中的所述凹部流体连通。

主权项

一种传感器，其包括：第一衬底，所述第一衬底包括：第一侧和相对的第二侧，所述第一侧具有凹部；所述凹部由一个或者多个侧壁和底壁限定，其中，所述一个或者多个侧壁大体上垂直于所述底壁；感测膜片，所述感测膜片至少部分地限定在所述第一衬底的所述第二侧与所述凹部的所述底壁之间；凸起，所述凸起从所述凹部的所述底壁延伸到所述凹部中，所述凸起由侧壁限定，其中，所述凸起的所述侧壁大体上垂直于所述凹部的所述底壁；第二衬底，所述第二衬底包括：第一侧和相对的第二侧；所述第一侧具有凹部；并且其中，将所述第一衬底的所述第一侧固定到所述第二衬底的所述第一侧，从而使所述第一衬底中的所述凹部面向所述第二衬底中的所述凹部并且与所述第二衬底中的所述凹部流体连通。