[发明专利]从蒸气流中移除颗粒的过滤器装置有效
| 申请号： | 201580073986.8 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN107208255B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | D·B·伯顿;T·F·J·马尔曼;E·策斯特贝尔根;C·科芒德尔;P·C·J·贝恩切斯 | 申请（专利权）人： | 塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 朱巧博 |
| 地址： | 荷兰费尔*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于减少蒸气流中的非气态成分的量的过滤装置，过滤装置包括碳泡沫作为过滤材料，蒸气流能够穿过所述过滤材料，并且过滤材料设置成使得蒸气流通过碳泡沫的唯一路径是经由穿过碳泡沫。本过滤装置特别地适于通过蒸气的物理气相沉积而涂覆基底。过滤装置形成的均质且单相的蒸气流致使涂覆的基底光滑，其中实质上不存在溅沫。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤装置 蒸气流 过滤材料 碳泡沫 基底 涂覆 穿过 物理气相沉积 过滤器装置 唯一路径 蒸气流通 非气态 均质 移除 光滑 | ||
【主权项】：
1.一种用于物理气相沉积装置的过滤装置(1)，所述过滤装置用于减少来自于所述物理气相沉积装置的蒸气发生器的蒸气流中的非气态成分的量，所述过滤装置包括：‑用于蒸气流(5)的入口通道(2)；‑用于从蒸气流(5)中移除非气态成分的移除器件(6)；‑用于从过滤装置(1)释放蒸气流(5)的出口通道(7)；其中，入口通道(2)与用于移除非气态成分的移除器件(6)流体连通；并且其中，用于移除非气态成分的移除器件(6)与出口通道(7)流体连通；其特征在于，‑用于移除非气态成分的移除器件(6)包括碳泡沫部件(8)，蒸气流(5)能够穿过所述碳泡沫部件(8)，以允许蒸气流朝向出口通道(7)通过；‑用于蒸气流通过所述用于移除非气态成分的移除器件(6)的唯一路径穿过碳泡沫部件(8)；‑其中，用于移除非气态成分的移除器件(6)包括粘附至碳泡沫部件(8)的石墨部件(9)，所述石墨部件能够通过电磁感应加热并且能够将热传导至碳泡沫部件(8)，过滤装置还包括围绕石墨部件(9)定位的感应线圈(10)；以及‑石墨部件(9)是包围碳泡沫部件(8)的石墨管。
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