[发明专利]对准方法有效
| 申请号： | 201580072882.5 | 申请日： | 2015-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN107710055B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 尼古拉斯·詹姆斯·纽;罗伯特·托德 | 申请（专利权）人： | 奥普拓塞斯有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/42 | 分类号： | G02B27/42;G02B27/62 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何冲;黄隶凡 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种评估第一和第二衍射元件的相对对准的方法。该方法包括照射第一衍射元件以在远场中形成第一衍射图案并照射第二衍射元件以在远场中形成第二衍射图案。该方法还包括确定远场中第一衍射图和第二衍射图之间的位置和/或旋转关系。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 方法 | ||
【主权项】：
一种评估第一和第二衍射元件的相对对准的方法，所述方法包括：照射第一衍射元件以在远场中形成第一衍射图案；照射第二衍射元件以在远场中形成第二衍射图案；并且确定远场中的第一衍射图案和第二衍射图案之间的位置和/或旋转关系。
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