[发明专利]用于激光诱导击穿光谱的紧凑型装置及其方法有效
| 申请号： | 201580072427.5 | 申请日： | 2015-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN107110783B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | P·布沙尔;M·萨布萨比;F·杜赛;L·C·奥茨莰 | 申请（专利权）人： | 加拿大国家研究院 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71;G01J3/443 |
| 代理公司： | 11641 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 洪玉姬;陆华 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于目标样品的激光诱导击穿原子发射光谱的方法和紧凑型装置，该装置具有：产生激光束的激光器，该激光束被引导至样品；用于操纵激光束以使样品的目标表面处的激光注量最大化的光学装置，激光束在目标表面处从样品产生烧蚀和等离子体发射；具有用于检测来自等离子体发射的等离子体羽的检测器的发射光谱仪。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 诱导 击穿 光谱 紧凑型 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光诱导击穿光谱的方法，该方法包括以下步骤：/n将激光束引导至样品上的目标平面，所述目标平面位于所述样品的近端表面上；/n操纵所述激光束以基本上使所述目标平面处的阈值注量最大化；以及/n在所述目标平面处从所述样品产生烧蚀和等离子体发射；/n其中，利用光学仪器来执行操纵所述激光束以基本上使所述目标平面处的阈值注量最大化的步骤，并且/n其中，所述光学仪器是电可调透镜，并且还包括产生光电二极管输出的光电二极管，并且其中，通过调整所述电可调透镜使得在所述样品的烧蚀和等离子体发射期间，所述光电二极管输出的归一化强度与从所述样品检测到的离子线的观察归一化强度重合来实现操纵所述激光束以基本上使所述目标平面处的阈值注量最大化的步骤。/n
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