[发明专利]在基板与管芯之间包括光敏填料的集成器件封装有效
申请号: | 201580066082.2 | 申请日: | 2015-12-10 |
公开(公告)号: | CN107004612B | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | V·诺维斯基;M·P·沙哈;R·库马 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 周敏;陈炜 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种包括管芯、基板、填料以及导电互连的集成器件封装。管芯包括柱,其中柱具有第一柱宽度。基板(例如,封装基板、中介体)包括介电层和基板互连(例如,表面互连、嵌入式互连)。填料位于管芯与基板之间。导电互连位于填料内。导电互连包括与第一柱宽度大致相同或比其小的第一互连宽度。导电互连被耦合至柱和基板互连。填料是非导电光敏材料。填料是光敏膜。基板互连包括等于或大于第一柱宽度的第二互连宽度。导电互连包括至少糊剂、焊料和/或包括聚合材料的增强型焊料中的一者。 | ||
搜索关键词: | 管芯 之间 包括 光敏 填料 集成 器件 封装 | ||
【主权项】:
一种集成器件封装,包括:管芯,所述管芯包括管芯互连,其中所述管芯互连包括第一管芯互连宽度;基板,所述基板包括介电层和基板互连;填料,所述填料位于所述管芯与所述基板之间;以及导电互连,所述导电互连位于所述填料内,所述导电互连包括与所述第一管芯互连宽度大致相同或比其小的第一互连宽度,其中所述导电互连被耦合至所述管芯互连和所述基板互连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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