[发明专利]位置测量装置及用于确定测量对象的位置的方法有效
| 申请号： | 201580064811.0 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107003107B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | P.沃格特;F.巴特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
在位置测量装置(5)和用以确定待测对象(3)的位置的方法中，提供至少一个电容式位置测量传感器(7)，以提供关于待测对象(3)的位置测量信号(P |
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| 搜索关键词： | 位置 测量 装置 用于 确定 对象 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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