[发明专利]树脂及感光性树脂组合物有效
申请号: | 201580063918.3 | 申请日: | 2015-11-19 |
公开(公告)号: | CN107001629B | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 增田有希;木内洋平;奥田良治 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | C08G73/10 | 分类号: | C08G73/10;C08G69/42;G03F7/004;G03F7/023;H01L21/027 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
本发明提供可制造具有高敏感度及高耐热性的感光性树脂组合物的树脂。本发明涉及以通式(1)或(2)表示的结构为主成分的树脂,其中,R2包含通式(3)表示的有机基团及通式(4)表示的有机基团。 |
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搜索关键词: | 树脂 感光性树脂组合物 有机基团 高敏感度 高耐热性 制造 | ||
【主权项】:
1.树脂,其是以下述通式(1)或(2)表示的结构为主成分的树脂,式中,R1为碳原子数2~30的2价~8价有机基团;R2包含通式(3)表示的有机基团及通式(4)表示的有机基团;R3、R5可以相同也可以不同,表示氢原子或碳原子数1~20的有机基团中的任一者;通式(3)表示选自双(氨基‑羟基‑苯基)六氟丙烷、二氨基二羟基嘧啶、二氨基二羟基吡啶、羟基‑二氨基‑嘧啶、二氨基苯酚、二羟基联苯胺、二氨基苯甲酸、二氨基对苯二甲酸双(氨基‑羟基苯基)丙烷、双(氨基‑羟基苯基)甲烷、双(氨基‑羟基苯基)醚、双(氨基‑羟基)联苯、双(氨基‑羟基苯基)芴中的含有羟基的二胺的残基、它们的芳香族环的一部分氢原子被选自碳原子数1~10的烷基、氟烷基及卤原子中的基团取代而得的化合物的残基、以及通式(8)~(10)中任一者表示的结构,其中,R4不包括具有磺酰基的结构,R6表示选自碳原子数2~30的基团中的、不具有羟基而具有磺酰基及芳香族环的2价~8价有机基团;n表示10至100000的范围,m、l表示0~2的整数,p表示0~4的整数,q表示1~4的整数;其中,p+q>1;通式(8)的R15及R17可以相同也可以不同,表示碳原子数2~20的3价~4价有机基团,R16表示碳原子数2~30的2价有机基团;u及v表示1或2;通式(9)的R18及R20可以相同也可以不同,表示碳原子数2~20的2价有机基团,R19表示碳原子数3~20的3价~6价有机基团;w表示1~4的整数;通式(10)的R21表示碳原子数2~20的2价有机基团,R22表示碳原子数3~20的3价~6价有机基团;x表示1~4的整数,![]()
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