[发明专利]具有低畸变像差的显微镜有效
| 申请号： | 201580061544.1 | 申请日： | 2015-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN107003506B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | D.施韦特;T.安胡特;M.沃尔德;B.贝姆;T.考夫霍尔德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司;卡尔蔡司股份公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的，并且不是光高效的，因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差，比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是，允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决，光学系统包括凹面反射镜(36)，用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此，其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次，并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A，30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 畸变 显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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