[发明专利]多层压电薄膜元件有效
| 申请号： | 201580059541.4 | 申请日： | 2015-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN107078206B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 彼得·马迪洛维奇;苏珊·特罗利尔-麦金斯特里 | 申请（专利权）人： | 赛尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/18 | 分类号： | H01L41/18;H01L41/083;H01L41/22;H01L41/27 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;郑霞 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种压电薄膜元件，其具有第一电极、第二电极和在电极之间的压电薄膜，其中，该薄膜包括具有两个或更多个压电薄膜层的层压体，并且其中，第一薄膜层由一个或多个掺杂剂掺杂和第二膜层由一个或多个掺杂剂掺杂，并且其中，第二薄膜层的至少一个掺杂剂不同于第一薄膜层的一个或多个掺杂剂。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 压电 薄膜 元件 | ||
【主权项】：
一种压电薄膜元件，其具有第一电极、第二电极和在所述电极之间的压电薄膜，其中，所述薄膜包括具有两个或更多个压电薄膜层的层压体，并且其中，所述第一薄膜层通过一个或多个掺杂剂掺杂以及第二薄膜层通过一个或多个掺杂剂掺杂，并且其中，所述第二薄膜层的至少一个掺杂剂不同于所述第一薄膜层中的所述一个或多个掺杂剂。
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