[发明专利]用于频率和计时生成的复合弹簧MEMS谐振器

摘要

一种复合弹簧MEMS谐振器包括使用形成复合弹簧块（55、95）的一个或多个弹簧单胞以及形成谐振器主体的一个或多个复合弹簧块（54a）构造的谐振器主体。每个复合弹簧块在节点处锚定（56、58）以确保高品质因数。谐振器主体还包括附着于复合弹簧块的开端并且电容地耦合于驱动/感测电极（66、68）的质量（60a、60b、94a、94b）。弹簧单胞的尺度、用于复合弹簧块的弹簧单胞的数目、质量的尺寸和重量以及支持梁的长度和宽度被选择以实现所需的谐振频率。多个谐振器单元可以并联连接以形成谐振器主体（90）。同时，复合弹簧块的数目被选择以调谐MEMS谐振器的诸如阻抗之类的所需电特性。释放孔（94）可以用于调整谐振器主体的重量。

主权项

一种MEMS谐振器，包括：谐振器主体，所述谐振器主体包括第一弹簧质量部分和第二弹簧质量部分，每个弹簧质量部分包括具有基端和开端的复合弹簧结构以及附着于所述复合弹簧结构的所述开端的质量，所述第一和第二弹簧质量部分于所述基端处连接，所述基端在所述谐振器主体的谐振振动期间形成所述谐振器主体的最小移动的一对节点，其中所述复合弹簧结构由一个或多个弹簧单胞形成并且每个弹簧单胞包括折叠的弹簧结构；一对锚定体，连接于衬底并且在所述节点处附着于所述谐振器主体的相对侧；驱动电极，形成为附着于所述衬底并且电容地耦合于所述第一弹簧质量部分的所述质量；以及感测电极，形成为附着于所述衬底并且电容地耦合于所述第二弹簧质量部分的所述质量。