[发明专利]萘酚型杯芳烃化合物及其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料、以及涂膜

摘要

本发明提供溶剂溶解性优异的萘酚型杯芳烃化合物、该萘酚型杯芳烃化合物的制造方法、含有该萘酚型杯芳烃化合物且可获得耐热解性、碱显影性、光灵敏度、分辨率优异的涂膜的感光性组合物、由该感光性组合物形成的抗蚀材料及涂膜。具体而言，一种萘酚型杯芳烃化合物，其特征在于，其包含通式(1)所示的分子结构[式(1)中，R1表示氢原子、烷基、烷氧基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的芳烷基或卤素原子，多个存在的R1可以彼此相同也可以不同，R2表示可以具有取代基的烷基或可以具有取代基的芳基，n表示2～10的整数。]。

主权项

一种萘酚型杯芳烃化合物，其特征在于，其包含下述通式(1)所示的分子结构，式(1)中，R1表示氢原子、烷基、烷氧基、任选具有取代基的芳基、任选具有取代基的芳烷基或卤素原子，多个存在的R1可以彼此相同也可以不同，R2表示任选具有取代基的烷基或任选具有取代基的芳基，n表示2～10的整数。