[发明专利]压力传感器

摘要

本发明为具备以下部分的压力传感器（1）：具有空腔的传感器主体（2）、具有杆主体（20）和杆支承部（21A、21B）并且根据空腔与传感器主体（2）的外部的压力差进行弯曲变形的悬臂（3）、以及基于形成于杆主体（20）的主体电阻部（31）和形成于杆支承部（21A、21B）的杆电阻部（32）的电阻值变化来对悬臂（3）的移位进行检测的移位检测部（4）。在杆支承部（21A）形成有划分槽（40），所述划分槽将杆电阻部（32）划分为与检测电极（35）串联电连接的第一电阻部（32a）和位于与第一电阻部（32a）相比靠相邻的其他的杆支承部（21B）的第二电阻部（32b）。杆支承部（21A、21B）的第一电阻部（32a）经由经由了主体电阻部（31）的第一路径（S1）和经由了第二电阻部（32b）的第二路径S2的并联路径与检测电极（35）电连接。

主权项

1.一种压力传感器，其特征在于，具备：中空的传感器主体，在内部形成有空腔，并且，形成有将所述空腔的内部与外部连通的连通开口；悬臂，具有杆主体、和将所述杆主体与所述传感器主体连接并且以单臂状态支承所述杆主体的多个杆支承部，并且，被配置为覆盖所述连通开口，并且，根据所述空腔与所述传感器主体的外部的压力差进行弯曲变形；以及移位检测部，具有形成于所述传感器主体的检测电极、形成于所述杆主体的主体电阻部和形成于所述杆支承部的杆电阻部，并且，基于所述主体电阻部和所述杆电阻部的电阻值变化来对所述悬臂的移位进行检测，在所述杆支承部形成有划分部，所述划分部将所述杆电阻部划分为与所述检测电极串联电连接的第一电阻部和位于与该第一电阻部相比靠相邻的其他的所述杆支承部的第二电阻部，并且，将所述第一电阻部与所述第二电阻部电切断，所述第一电阻部经由经由了所述主体电阻部的第一路径和经由了所述第二电阻部的第二路径的并联路径与所述检测电极电连接。