[发明专利]热电转换装置的制造方法

摘要

本发明提供一种热电转换装置的制造方法。在加压层叠体(80)的工序中，首先，加热到比热塑性树脂的融点低的温度并且加压，使热塑性树脂弹性变形，施加垂直于层叠方向的方向的压力，从而使第一、第二导电浆(41、51)与表面、背面图案(21、31)紧贴。接下来，加热到热塑性树脂的融点以上的温度并且加压，使热塑性树脂向外部流出并且流动，施加垂直于层叠方向的方向的压力，从而将第一、第二导电浆(41、51)固相烧结。这样，使第一、第二导电浆(41、51)与表面、背面图案(21、31)紧贴，所以在融点以上的温度加压时第一、第二导电浆(41、51)难以流动。

主权项

1.一种热电转换装置的制造方法，其中，包含：第一工序，其中，准备如下的绝缘基材(10)，该绝缘基材(10)含有热塑性树脂，形成沿厚度方向贯通上述热塑性树脂的第一导通孔(11)和第二导通孔(12)，并且在上述第一导通孔中填充有将有机溶剂添加至多个金属原子维持规定的结晶构造的合金的粉末并浆化的第一导电浆(41)，在上述第二导通孔中填充有将有机溶剂添加至种类与上述合金不同的金属的粉末并浆化的第二导电浆(51)；第二工序，其中，在上述绝缘基材的表面(10a)配置具有与对应的上述第一导电浆和上述第二导电浆接触的表面图案(21)的表面保护部件(20)，并且在上述绝缘基材的背面(10b)配置具有与对应的上述第一导电浆和上述第二导电浆接触的背面图案(31)的背面保护部件(30)，形成层叠体(80)；以及第三工序，其中，对上述层叠体一边加热一边从上述层叠体的层叠方向加压，将上述第一导电浆固相烧结，构成第一层间连接部件(40)，并且将上述第二导电浆固相烧结，构成第二层间连接部件(50)，将上述第一层间连接部件及上述第二层间连接部件与上述表面图案及上述背面图案电连接，上述第三工序包含：溶剂蒸发工序，其中，将上述层叠体加热到上述有机溶剂蒸发的温度，亦即比上述热塑性树脂的融点低且比上述第一导电浆和上述第二导电浆的烧结温度低的温度，由此使被添加到上述第一导电浆和上述第二导电浆的上述有机溶剂蒸发；浆料压缩工序，其中，在上述溶剂蒸发工序后，将上述层叠体加热到上述热塑性树脂弹性变形的温度，亦即比上述热塑性树脂的融点低且比上述第一导电浆及上述第二导电浆的烧结温度低的温度，并且沿上述层叠体的层叠方向加压上述层叠体，由此使上述热塑性树脂弹性变形，从而将垂直于上述层叠体的层叠方向的方向的压力施加于上述第一导电浆和上述第二导电浆；以及浆料固相烧结工序，其中，在上述浆料压缩工序后，将上述层叠体加热到上述热塑性树脂的融点以上的温度，亦即上述第一导电浆和上述第二导电浆的烧结温度以上的温度，并且沿上述层叠体的层叠方向加压上述层叠体，由此使上述热塑性树脂向上述层叠体的外部流出并且使上述热塑性树脂在上述层叠体的内部流动，将垂直于上述层叠体的层叠方向的方向的压力施加于上述第一导电浆和上述第二导电浆，使上述第一导电浆固相烧结，构成上述第一层间连接部件，并且使上述第二导电浆固相烧结，构成上述第二层间连接部件。