[发明专利]热电转换装置的制造方法

权利要求书

1.一种热电转换装置的制造方法，其中，包含：

第一工序，其中，准备如下的绝缘基材(10)，该绝缘基材(10)含有热塑性树脂，形成沿厚度方向贯通上述热塑性树脂的第一导通孔(11)和第二导通孔(12)，并且在上述第一导通孔中填充有将有机溶剂添加至多个金属原子维持规定的结晶构造的合金的粉末并浆化的第一导电浆(41)，在上述第二导通孔中填充有将有机溶剂添加至种类与上述合金不同的金属的粉末并浆化的第二导电浆(51)；

第二工序，其中，在上述绝缘基材的表面(10a)配置具有与对应的上述第一导电浆和上述第二导电浆接触的表面图案(21)的表面保护部件(20)，并且在上述绝缘基材的背面(10b)配置具有与对应的上述第一导电浆和上述第二导电浆接触的背面图案(31)的背面保护部件(30)，形成层叠体(80)；以及

第三工序，其中，对上述层叠体一边加热一边从上述层叠体的层叠方向加压，将上述第一导电浆固相烧结，构成第一层间连接部件(40)，并且将上述第二导电浆固相烧结，构成第二层间连接部件(50)，将上述第一层间连接部件及上述第二层间连接部件与上述表面图案及上述背面图案电连接，

上述第三工序包含：

溶剂蒸发工序，其中，将上述层叠体加热到上述有机溶剂蒸发的温度，亦即比上述热塑性树脂的融点低且比上述第一导电浆和上述第二导电浆的烧结温度低的温度，由此使被添加到上述第一导电浆和上述第二导电浆的上述有机溶剂蒸发；

浆料压缩工序，其中，在上述溶剂蒸发工序后，将上述层叠体加热到上述热塑性树脂弹性变形的温度，亦即比上述热塑性树脂的融点低且比上述第一导电浆及上述第二导电浆的烧结温度低的温度，并且沿上述层叠体的层叠方向加压上述层叠体，由此使上述热塑性树脂弹性变形，从而将垂直于上述层叠体的层叠方向的方向的压力施加于上述第一导电浆和上述第二导电浆；以及

浆料固相烧结工序，其中，在上述浆料压缩工序后，将上述层叠体加热到上述热塑性树脂的融点以上的温度，亦即上述第一导电浆和上述第二导电浆的烧结温度以上的温度，并且沿上述层叠体的层叠方向加压上述层叠体，由此使上述热塑性树脂向上述层叠体的外部流出并且使上述热塑性树脂在上述层叠体的内部流动，将垂直于上述层叠体的层叠方向的方向的压力施加于上述第一导电浆和上述第二导电浆，使上述第一导电浆固相烧结，构成上述第一层间连接部件，并且使上述第二导电浆固相烧结，构成上述第二层间连接部件。

2.根据权利要求1所述的热电转换装置的制造方法，其中，

在上述第一工序中，所准备的上述绝缘基材中，由上述热塑性树脂构成的第一层、由热固化性树脂构成的第二层、由热塑性树脂构成的第三层沿上述厚度方向被依次配置，并且以沿上述厚度方向贯通上述第一层、上述第二层以及上述第三层的方式形成有上述第一导通孔和上述第二导通孔。

3.根据权利要求1或2所述的热电转换装置的制造方法，其中，

在上述第一工序中，准备具有构成上述层叠体的周缘部分(81)的部分的上述绝缘基材，

在上述第二工序中，在上述周缘部分也形成配置有上述表面保护部件、上述背面保护部件、上述表面图案以及上述背面图案的上述层叠体，在上述周缘部分中的上述表面保护部件中，在上述表面图案形成有从上述热电转换装置的外周连续直至上述周缘部分的外周的表侧窄缝(81a)，或者在上述周缘部分中的上述背面保护部件中，在上述背面图案形成有从上述热电转换装置的外周连续直至上述周缘部分的外周的背侧窄缝(81b)，或者同时形成上述表侧窄缝(81a)和上述背侧窄缝(81b)双方，从而形成上述层叠体，

在上述第三工序中，使上述热塑性树脂通过在上述第二工序中的上述表面保护部件上形成的上述表侧窄缝、以及上述背面保护部件上形成的上述背侧窄缝中的至少一方，向上述层叠体的外部流出，

在上述第三工序后，从上述层叠体切除上述周缘部分。

4.根据权利要求1或2所述的热电转换装置的制造方法，其中，

在上述第三工序中，使用具有一个或者多个凸部(100a、101a)的冲压板(100，101)，以使位于不同的两个上述第一导电浆之间的部分或者位于不同的两个上述第二导电浆之间的部分被上述凸部加压的方式，沿上述层叠体的层叠方向加压上述层叠体。

5.根据权利要求3所述的热电转换装置的制造方法，其中，

在上述第三工序中，使用具有一个或者多个凸部(100a、101a)的冲压板(100，101)，以使位于不同的两个上述第一导电浆之间的部分或者位于不同的两个上述第二导电浆之间的部分被上述凸部加压的方式，沿上述层叠体的层叠方向加压上述层叠体。