[发明专利]用于在基材上形成耐划痕结晶层的方法以及由此形成的制品

摘要

可以在基材上，从沉积在基材表面上的前体层形成结晶层。前体层可以是氧化物、氮化物、碳化物或氧氮化物。用于形成结晶层的工艺包括通过对前体层进行局部化的顶部加热使得形成在基材表面上的前体层熔化，以及然后使得熔化的前体层冷却，从而其结晶形成耐划痕结晶层。耐划痕结晶层的硬度可以大于或等于15GPa。

主权项

一种用于形成结晶层的方法，该方法包括：使得形成在基材的表面上的前体层熔化，其中，所述前体层选自：氧化物、氮化物、碳化物、和氧氮化物，所述熔化包括对所述前体层进行局部化的顶部加热；以及对熔化的前体层进行冷却，从而使其结晶形成结晶层。