[发明专利]金属氧化物的薄膜、具备该薄膜的有机电致发光元件、太阳能电池及薄膜的制造方法在审
| 申请号： | 201580050390.6 | 申请日： | 2015-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN106687616A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 细野秀雄;户田喜丈;渡边晓;渡边俊成;伊藤和弘;宫川直通;中村伸宏 | 申请（专利权）人： | 国立研究开发法人科学技术振兴机构;国立大学法人东京工业大学;旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;H01L51/46;H01L51/50 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 盛曼;金龙河 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种金属氧化物的薄膜，所述薄膜含有锌(Zn)、锡(Sn)、硅(Si)和氧(O)，以氧化物换算计，相对于所述薄膜的氧化物的合计100摩尔％，SnO2超过15摩尔％且在95摩尔％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 薄膜 具备 有机 电致发光 元件 太阳能电池 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种金属氧化物的薄膜，所述薄膜含有锌(Zn)、锡(Sn)、硅(Si)和氧(O)，以氧化物换算计，相对于所述薄膜的氧化物的合计100摩尔％，SnO2超过15摩尔％且在95摩尔％以下。
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