[发明专利]定量二次电子检测在审
| 申请号： | 201580047907.6 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN107112182A | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 乔蒂·乔蒂阿拉瓦克人;萨哈达史·萨哈达史纳亚克;大卫·大卫C乔伊 | 申请（专利权）人： | 科学明天有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)44312 | 代理人： | 王利彬 |
| 地址： | 美国列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用基于固态装置(SSD)阵列的电子计数器的定量二次电子检测(QSED)能够在诸如半导体、纳米材料和生物样品之类的材料中进行关键尺寸的计量学测量(图3)。使用固态检测器阵列实现二次电子定量检测的方法和装置包括多个固态检测器。阵列使用多个固态检测器对二次电子的数目进行感测，用计数器模式中的时数转换器电路来对二次电子的数目进行计数。 | ||
| 搜索关键词： | 定量 二次电子 检测 | ||
【主权项】：
一种定量二次电子检测装置，包括：用于合计多个二次电子的计数的电路；用于存储多个二次电子的计数的电路；包括时数转换器的电路；电气装置或磁性装置，所述电气装置或磁性装置被配置为在固态检测器阵列上以分散模式吸引二次电子；固态检测器阵列，其中所述固态检测器阵列包括：由以下部分组成的网格：至少4列固态检测器；至少4行所述固态检测器；以及若干单元的固态检测器，其中，所述固态检测器被配置为对在停留时间内的多个二次电子进行检测和计数。
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