[发明专利]彩色共焦系统有效
| 申请号： | 201580047367.1 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106796106B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 优素福·阿缇亚;塔勒·维科尔 | 申请（专利权）人： | 阿莱恩技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 | 代理人： | 吴立;邹轶鲛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于确定三维结构的表面形貌的系统。该系统能够包括照明单元，该照明单元被配置为输出分别包括多个波长的光束的二维阵列。光学组件能够将各光束的多个波长聚焦到多个焦距，从而遍及二维视野地同时照明该结构。检测器和处理器用于基于测得的从所述结构反射的光的特性而生成表示所述三维结构的表面形貌的数据。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定三维结构的表面形貌的系统，该系统包括：照明单元，该照明单元被配置为输出二维阵列光束，每个光束均包括多个波长；光学组件，该光学组件操作性地连接到所述照明单元，并且被配置为使得各所述光束的所述多个波长相对于所述光学组件而聚焦到多个焦距，从而遍及二维视野地同时照明所述结构；检测器，该检测器被配置为对于遍及视野地二维分布的多个位置的各位置测量从所述结构反射的光的特性；以及处理器，该处理器与检测器连接，并且被配置为基于测得的从所述结构反射的光的特性，生成表示所述结构的表面形貌的数据。
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