[发明专利]用于抛光蓝宝石表面的组合物及方法在审
| 申请号： | 201580046453.0 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN106604807A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | S.卡夫 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B24B9/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 宋莉,邢岳 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于抛光蓝宝石表面的经改善的组合物及方法。该方法包括用包含悬浮于水性介质中的胶态氧化硅的抛光组合物研磨蓝宝石表面，例如蓝宝石晶片的C面、R面或A面表面，该抛光组合物具有酸性pH且包括提高蓝宝石移除速率的磷酸量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 蓝宝石 表面 组合 方法 | ||
【主权项】：
抛光蓝宝石表面的方法，包括用抛光组合物研磨该蓝宝石表面，该抛光组合物包含占该抛光组合物的约0.5至约20重量％的悬浮于水性介质中的胶态氧化硅，该抛光组合物具有酸性pH且包括占该抛光组合物的约0.0001至约1.0重量％的提高蓝宝石移除速率的磷酸量。
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