[发明专利]弹性波装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种使用由无机电介质材料构成的层间绝缘膜且层间绝缘膜上的布线不易产生裂缝、断线的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电基板(2)上设置有多个IDT电极，并具备对多个IDT电极进行电连接的多个布线，多个布线具有第一布线(11)和第二布线(12)，由无机电介质材料构成的层间绝缘膜(13)设置为覆盖第一布线(11)的一部分，第二布线(12)的一部分隔着层间绝缘膜(13)而与第一布线(11)的一部分进行立体交叉，在立体交叉部分(B)中第二布线(12)从层间绝缘膜(13)的外侧的区域到达层间绝缘膜(13)上的部分处，设置有第一辅助布线电极(14、15)，其设置在压电基板(2)上，且设置为在俯视时至少一部分与第二布线(12)重叠且到达层间绝缘膜(13)内。

主权项

1.一种弹性波装置，具备：压电基板；多个IDT电极，设置在所述压电基板上；以及多个布线，设置在所述压电基板上，对所述多个IDT电极进行电连接，所述多个布线具有第一布线和连接到与所述第一布线不同的电位的第二布线，所述弹性波装置还具备：层间绝缘膜，在所述压电基板上设置为覆盖所述第一布线的一部分，并由无机电介质材料构成，所述第二布线的一部分隔着所述层间绝缘膜而与所述第一布线的一部分进行立体交叉，所述弹性波装置还具备：第一辅助布线电极，在所述立体交叉的部分处从所述层间绝缘膜的外侧的区域延伸到设置有所述层间绝缘膜的区域，在所述层间绝缘膜的外侧的区域中层叠于所述第二布线的下表面，在设置有所述层间绝缘膜的区域中位于所述层间绝缘膜和所述第二布线的下方，所述层间绝缘膜具有位于所述第一布线的一侧的第一侧面和位于所述第一布线的另一侧的第二侧面，所述第一侧面和所述第二侧面设为倾斜面，该倾斜面倾斜为随着向上方行进而位于所述层间绝缘膜的中央，在所述层间绝缘膜的外侧的区域中，所述第一辅助布线电极与所述第二布线的界面倾斜为随着靠近所述层间绝缘膜而向上方行进，所述层间绝缘膜的所述第一侧面和所述第二侧面相对于所述压电基板的上表面的倾斜角度设得大于所述第一辅助布线电极与所述第二布线的所述界面相对于所述压电基板的上表面的倾斜角度。