[发明专利]离子源温度控制装置有效
| 申请号： | 201580043549.1 | 申请日： | 2015-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN106575593B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 奎格·R·钱尼;威廉·戴维斯·李;奈尔·J·巴森 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;G05D23/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于控制离子源的温度的离子源温度控制装置。离子源包含多个壁，所述多个壁界定离子在其中生成的腔室。为了控制离子源的温度，一个或多个可移动挡热板安置到腔室外部。可移动挡热板由设计为将热量反射回到离子源的高温和/或耐火材料制成。在第一位置时，这些可移动挡热板经安置以将第一量的热量反射回到离子源。在第二位置时，这些可移动挡热板经安置以将较少的第二量的热量反射回到离子源。在一些实施例中，可移动挡热板可以安置在位于第一位置与第二位置之间的一个或多个中间位置中。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 动态 温度 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子源温度控制装置，其特征在于包括：离子源，其具有界定腔室的多个壁；以及可移动挡热板，其安置在所述腔室外部并且靠近所述壁中的至少一个，其中所述可移动挡热板在第一位置时，第一量的热量反射回到所述腔室；以及在第二位置时，第二量的热量反射回到所述腔室，所述第二量的热量小于所述第一量的热量。
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