[发明专利]包含光交联的含氟聚合物的钝化层

摘要

本公开涉及一种包含光交联含氟聚合物的钝化层和一种用于形成所述层的方法。包含所述交联的含氟聚合物的钝化层具有低介电常数、低吸水率，并且能够光成像，以便提供现代电子装置所需的非常精细的特征。

主权项

一种钝化层，所述钝化层包括设置在基底的至少一部分上的光交联的涂料组合物层，其中所述涂料组合物包含：i)具有重复单元的可光交联的含氟聚合物，所述重复单元包括：(a)氟化烯烃；(b)烷基乙烯基醚，其中所述烷基基团是C1至C6直链的或C3至C6支链的或环状的饱和烃基；以及(c)乙烯基环氧化物；ii)光产酸剂；iii)任选的光敏剂；以及iv)载体介质；其中所述可光交联的含氟聚合物具有在20,000至300,000的范围内的数均分子量，并且其中所述光交联的涂料组合物层具有在100kHz下测定的1至5的范围内的介电常数，并且其中具有在0.01微米至300微米的范围内的厚度的所述光交联的涂料组合物层具有以下光交联特征：其具有的最小宽度为a)所述涂料组合物的厚度的约10％或b)0.5微米中的较大者。