[发明专利]包含光交联的含氟聚合物的钝化层有效
| 申请号： | 201580040437.0 | 申请日： | 2015-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN106687863B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | R.B.莱德;J.F.赖莱;R.C.惠兰德;S.J.钟 | 申请（专利权）人： | 科慕埃弗西有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周齐宏;李炳爱 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包含 交联 聚合物 钝化 | ||
【权利要求书】：
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