[发明专利]用于3D图案成形的数字灰色调光刻

摘要

本文描述一种处理基板的方法。所述方法包括将基板定位于阶台上，阶台与无掩模直写图案产生器相关联。基板具有形成于其上的未显影、未曝光的光刻胶层。光刻胶层具有多个写入像素位置。所述方法包括将预定用量的电磁能从图案产生器传送至每个写入像素位置。第一预定用量是全色调用量，且第一预定用量被传送到至少一个写入像素位置。第二预定是部分色调用量，且第二预定用量被传送到至少一个写入像素位置。第三预定用量是部分用量或零色调用量。第三预定用量被传送到至少一个写入像素位置，且第三预定用量不同于第二预定用量。

主权项

一种处理基板的方法，所述方法包括：将基板定位于阶台上，所述阶台与无掩模直写图案产生器相关联，其中所述基板具有形成于所述基板上的未显影、未曝光的光刻胶层，并且其中所述光刻胶层具有多个写入像素位置；及将第一预定用量、第二预定用量与第三预定用量的电磁能从所述图案产生器传送至所述光刻胶层的每个写入像素位置；其中所述第一预定总用量是全色调用量，且所述第一预定用量被传送至第一组写入像素位置；及其中所述第二预定总用量是部分色调用量，且所述第二预定用量被传送至第二组写入像素位置；及其中所述第三预定总用量是部分色调用量或零色调用量，所述第三预定用量被传送至第三组写入像素位置，且所述第三预定用量不同于所述第二预定用量。