[发明专利]基于银合金的溅射靶有效
| 申请号： | 201580039358.8 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN106661720B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | M.施洛特;A.赫佐格;T.肖勒;U.科尼茨卡 | 申请（专利权）人： | 万腾荣高新材料德国有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C22C5/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅射靶，其包含银合金，所述银合金基于银合金的总量包含5至25‑重量％的钯，并且具有在25至90μm范围内的平均颗粒尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 合金 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶，其包含银合金‑所述银合金基于银合金的总量包含5至25‑重量％的钯，并且‑如果在银合金中存在其他金属元素，则所述其他金属元素的总和在数量上小于0.5‑重量％，‑具有在25至90μm范围内的平均颗粒尺寸，‑其中，所述银合金具有小于15％的颗粒尺寸的变化，和‑所述银合金的颗粒具有至少为60％的平均轴长比。
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