[发明专利]具有多种模式的虚拟检验系统有效
| 申请号： | 201580037969.9 | 申请日： | 2015-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106537125B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | B·达菲;S·巴纳吉 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于确定于样品上检测到的缺陷的一或多个特性的方法及系统。一种系统包含一或多个计算机子系统，其经配置以识别样品上由检验系统用第一模式检测到但用一或多种其它模式未检测到的第一缺陷。所述计算机子系统还经配置以从存储媒体获取在对应于所述第一缺陷的所述样品上的位置处用所述一或多种其它模式产生的一或多个图像。另外，所述计算机子系统经配置以确定所述经获取一或多个图像的一或多个特性，且基于所述经获取一或多个图像的所述一或多个特性确定所述第一缺陷的一或多个特性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多种 模式 虚拟 检验 系统 | ||
【主权项】：
1.一种经配置以确定于样品上检测到的缺陷的一或多个特性的系统，其包括：/n存储媒体，其经配置以存储由检验系统产生的样品的图像，其中所述检验系统经配置以用能量扫描遍及所述样品的物理版本同时检测来自所述样品的能量，由此产生所述样品的所述图像且基于所述图像检测所述样品上的缺陷，其中所述检验系统进一步经配置以用多种模式执行所述扫描及所述检测，且其中由所述存储媒体存储的所述图像包括由所述检验系统针对在其处检测到及未检测到所述缺陷的所述样品上的位置产生的所述图像；及/n一或多个计算机子系统，其经配置以：/n识别用所述多种模式中的第一者检测到但用所述多种模式中的一或多种其它模式未检测到的所述缺陷中的第一者；/n从所述存储媒体获取在对应于所述缺陷中的所述第一者的所述样品上的位置处用所述多种模式中的所述一或多种其它模式产生的所述图像中的一或多者；/n确定所述经获取一或多个图像的一或多个特性；及/n基于所述经获取一或多个图像的所述一或多个特性来确定所述缺陷中的所述第一者的一或多个特性。/n
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