[发明专利]用提供可调节干涉图案的装置形成光学光栅

摘要

一种与脉冲激光源一起使用的装置，用于在目标中形成光栅，所述装置包括：可调节望远镜，其具有带负屈光力的元件，用于产生发散光束，使得光束在离开望远镜时具有可调节的发散度，同时避免了光在望远镜内的聚焦。透射衍射光栅被设置在离开望远镜的光束中，用于在目标上形成光学干涉图案。可以通过调节离开望远镜的光束的发散度来形成具有不同光栅周期的光栅。由于在望远镜内缺乏致密焦斑，使得能够使用超短脉冲持续时间，高峰值强度激光源。

主权项

1.一种用于在沿第一方向延伸的目标中形成光栅的装置，所述装置包括：望远镜，所述望远镜包括：第一光学元件，其在包括所述第一方向的第一平面中具有负的屈光力，用于接收第一光束，并用于由所述第一光束形成发散光束；和第二光学元件，其在第一平面中具有正屈光力，所述第二光学元件设置在第一光学元件的下游，用于接收发散光束，并用于由所述发散光束形成第二光束；望远镜支撑件，其用于支撑所述第一光学元件和所述第二光学元件，所述望远镜支撑件包括可移动部分，用于通过调节所述第一光学元件和所述第二光学元件之间的距离来调节所述第二光束的发散度；和透射衍射光栅，其设置在所述望远镜的下游，用于接收所述第二光束，并将所述第二光束分成第一子光束和第二子光束；其中在操作中，当所述第一光束被所述第一光学元件接收时，所述第一子光束和所述第二子光束在所述目标上重叠，并在所述目标上形成光学干涉图案，以在其中形成所述光栅，其中所述光学干涉图案具有取决于所述第二光束的发散度的周期，由此可通过调整所述望远镜的所述第一光学元件和所述第二光学元件之间的距离来调节所述光栅的所述周期。