[发明专利]生产具有受控层数的石墨烯的方法以及利用该石墨烯制造电子器件的方法有效
申请号: | 201580037288.2 | 申请日: | 2015-05-15 |
公开(公告)号: | CN106536406B | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 赵吉元;李晓粲;李恩镐 | 申请(专利权)人: | 纳米基盘柔软电子素子研究团;浦项工科大学校产学协力团 |
主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 董世豪;张淑珍 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了生产石墨烯的方法,该方法包括如下步骤:使金属催化剂与氢气接触(步骤a);使步骤a中的金属催化剂与选自烃类气体、氮气和非活性气体中的至少一种接触(步骤b);以及通过使步骤b中的金属催化剂与氢气和烃类气体接触,在金属催化剂上形成石墨烯(步骤c),由此可根据需要对石墨烯的层数进行各种控制,而与金属催化剂层的初始表面粗糙度无关,并从而缩短形成石墨烯所需的时间,由此降低加工成本。 | ||
搜索关键词: | 生产 具有 受控 层数 石墨 方法 以及 利用 制造 电子器件 | ||
【主权项】:
1.一种生产石墨烯的方法,所述方法包括:步骤a,使金属催化剂与氢气接触;步骤b,使经过所述步骤a处理的金属催化剂与选自于由烃类气体、氮气、非活性气体以及氮气和非活性气体的混合物所组成的组中的任一种接触;以及步骤c,通过使经过所述步骤b处理的金属催化剂与氢气和烃类气体接触,在金属催化剂上形成石墨烯;其中,所述非活性气体是选自于由氩气、氦气和氖气所组成的组中的至少一种;其中,在500℃‑1,500℃的温度下进行所述步骤b;并且其中,在500℃‑1,500℃的温度下进行所述步骤c。
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