[发明专利]用于薄膜沉积的含钼及钨的前体在审
| 申请号： | 201580036562.4 | 申请日： | 2015-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106536641A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 克里斯汀·杜斯拉特;安托万·科拉斯;金钟珉 | 申请（专利权）人： | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 |
| 主分类号： | C09D1/00 | 分类号： | C09D1/00;C23C16/44;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 彭立兵,林柏楠 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及使用溶胶‑凝胶或气相沉积方法自仅含钨、氧、碳及氢的前体制备电致变色氧化钨或氧化钼及其掺杂衍生物纳米材料，因为其他元素可产生影响电致变色性能的光学缺陷。优选地，该液体与挥发性化合物W(＝O)(OsBu)4为所用前体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 沉积 | ||
【主权项】：
一种第6族成膜组合物，其包含具有式M(＝O)(OR)4的液体前体，其中M为Mo或W，且各R独立地选自由以各项组成的组：tBu、sＢu、CH2sBu、CH2iBu、CH(Me)(iPr)、CH(Me)(nPr)、CH(Et)2、C(Me)2(Et)、C6‑C8烷基及其组合，其限制条件为每一个R仅在M为Mo时为tBu。
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