[发明专利]用于自行调节流体化学品输送的设备及方法有效
申请号: | 201580036357.8 | 申请日: | 2015-06-29 |
公开(公告)号: | CN106470756B | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 马丁·杰夫·萨里纳斯;董友群;戴维·汤普森;张梅 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | B01J4/00 | 分类号: | B01J4/00;B01J4/02 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本文提供用于化学品输送的方法与设备。在一些实施方式中,第一贮槽容纳第一容积的流体、接收载气、并且将所述载气连同源自所述第一容积的流体的蒸气一并输出。第二贮槽容纳第二容积的流体,且能够输送所述第二容积的流体的一部分至所述第一贮槽。自行调节管从所述第一贮槽延伸到所述第二贮槽中的所述第二容积的流体上方的区域。 | ||
搜索关键词: | 用于 自行 调节 流体 化学品 输送 设备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种化学品输送设备,包括:主体,所述主体具有第一贮槽,所述第一贮槽界定第一容积,所述第一贮槽包括载气入口与载气出口;第二贮槽,所述第二贮槽设置于所述主体中位于所述第一贮槽上方且界定第二容积,所述第二贮槽具有填充管,所述填充管将所述第二贮槽流体耦接至所述第一贮槽;环形间隙,所述环形间隙设置在所述第一贮槽的顶壁与所述第二贮槽的底壁之间,其中所述环形间隙在所述第一贮槽和所述第二贮槽的侧壁之间形成热阻挡物,其中所述环形间隙在所述第一贮槽和所述第二贮槽的所述侧壁之间界定空隙;气体入口管,所述气体入口管用以将载气输送到所述第一贮槽,所述气体入口管设置为穿过所述主体的顶部并延伸穿过所述第二贮槽,其中所述气体入口管的端部限定所述载气入口;气体出口管,所述气体出口管将蒸气输送出所述第一贮槽,所述气体出口管设置为穿过所述主体的顶部并延伸穿过所述第二贮槽,其中所述气体出口管的端部限定所述载气出口;及自行调节管,所述自行调节管从所述第二贮槽延伸至所述第一贮槽,其中所述自行调节管的下端设置在所述填充管的下端之上。
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