[发明专利]用于确定衬底中的应力的光学系统和方法

摘要

公开了用于测量衬底中的多维应力特性的方法和系统。总体上，所述方法包括将光泵浦脉冲序列施加到衬底。光泵浦脉冲在衬底中诱导传播的应变脉冲。还施加光学探测脉冲。通过分析由传播的应变脉冲引起的瞬态光学响应，可以确定表征衬底中的应力的多维应力分量。还可以在衬底的深度处确定多维应力分量。还可以在邻近硅通孔的区域处确定多维应力分量。

主权项

1.一种用于确定材料中的多维应力分量的方法，所述方法包括：将光泵浦脉冲序列施加到所述材料的表面，所述光泵浦脉冲中的单独脉冲在所述材料中诱导传播的应变脉冲；对于所述光泵浦脉冲中的至少一个，施加至少一个光学探测脉冲；检测所述材料对所述光学探测脉冲的瞬态光学响应的变化，所述变化至少部分地归因于所述材料中的应变脉冲的传播；基于检测到的所述材料的瞬态光学响应的变化，确定检测到的所述变化的振荡周期；将所确定的振荡周期与具有与所述材料基本相似的组成的基本无应力样品的参考振荡周期进行比较；以及基于所述比较操作的结果，确定应力张量的至少第一应力分量和第二应力分量，其中，所述第一应力分量表示第一方向上的应力，并且所述第二应力分量表示第二方向上的应力。