[发明专利]脆性衬底的切断方法及划线装置有效
| 申请号： | 201580034054.2 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106470814B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 曾山浩 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;C03B33/033 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勋 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脆性衬底的切断方法及划线装置。将具有突起部(PP)及和突起部(PP)相连的前部的刀尖(51)按压于脆性衬底(4)的表面(SF)。使被按压的刀尖(51)在脆性衬底(4)的表面(SF)上向着前部所朝向的方向(DA)滑动。通过使刀尖(51)滑动而在脆性衬底(4)产生塑性变形，由此在脆性衬底(4)的表面(SF)上形成具有沟槽形状的沟槽线。在使刀尖(51)滑动时，使刀尖(51)的前部的多个位置(O1及O2)为与脆性衬底(4)的表面(SF)相同高度的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 衬底 切断 方法 划线 装置 | ||
【主权项】：
1.一种脆性衬底的切断方法，其具备以下步骤：将具有突起部及与上述突起部相连的前部的刀尖按压于一脆性衬底的表面；及使所按压的上述刀尖在上述脆性衬底的上述表面上向着上述前部所朝的方向滑动；且通过使上述刀尖滑动的步骤而在上述脆性衬底产生塑性变形，由此在上述脆性衬底的上述表面上形成具有沟槽形状的至少1条沟槽线，且在使上述刀尖滑动的步骤中，使上述刀尖的上述前部的多个位置为与上述脆性衬底的上述表面相同高度的位置；且使上述刀尖滑动的步骤以获得上述脆性衬底在上述沟槽线的正下方在与上述沟槽线交叉的方向上为连续相连的状态即无裂痕状态的方式进行。
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