[发明专利]具有两个振动轴线的微机械构件和用于微机械构件的制造方法在审
| 申请号： | 201580031111.1 | 申请日： | 2015-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN106458568A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | S·平特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有能关于保持件(10)调整的部件(12)的微机械构件，所述可调部件(12)至少通过悬挂结构(16)悬挂在所述保持件(10)上，其中，所述悬挂结构(16)的固有振动可以这样激励，使得所述可调部件(12)能关于所述保持件(10)借助进行固有振动的悬挂结构(16)来进行围绕第一转动轴线(34a)的谐振运动和围绕相对于所述第一转动轴线(34a)倾斜地定向的第二转动轴线(34b)的准静态振动运动，其中，所述可调部件(12)直接或通过至少一个弹簧(20)连接到所述悬挂结构(16)的至少一个被激励的固有振动的至少一个振动节点上。此外，本发明还涉及一种用于微机械构件的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 两个 振动 轴线 微机 构件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
微机械构件，具有：保持件(10)；关于保持件(10)的可调部件(12)，该可调部件(12)至少通过悬挂结构(16,50,70)悬挂在所述保持件(10)上；和至少一个促动器装置(22a,22b,24,40a至40d)；其中，所述至少一个促动器装置(22a,22b,24,40a至40d)这样被设计，使得借助所述至少一个促动器装置(22a,22b,24,40a至40d)的运行，所述悬挂结构(16,50,70)的至少一个第一子区段(26a)能进行沿第一振动轴线(28a)的第一谐振运动，并且所述悬挂结构(16,50,70)的所述至少一个第一子区段(26a)和/或至少一个第二子区段(26b)能进行沿相对于所述第一振动轴线(28a)倾斜地定向的第二振动轴线(28b)的第二谐振运动中，由此能这样激励所述悬挂结构(16,50,70)的固有振动(S1至S3,H1至H2)，使得所述可调部件(12)能关于所述保持件(10)借助进行所述固有振动(S1至S3,H1至H2)的悬挂结构(16,50,70)而进行围绕第一转动轴线(34a)的共振运动和围绕相对于所述第一转动轴线(34a)倾斜地定向的第二转动轴线(34b)的准静态振动运动；其特征在于，所述可调部件(12)直接或通过至少一个弹簧(20)连接到所述悬挂结构(16,50,70)的至少一个被激励的固有振动(S1‑S3,H1至H2)的至少一个振动节点(P2,P31,P32,PH11至PH23)上。
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