[发明专利]用于在衬底上产生多个空间分离的检验区域的方法、设备及系统

摘要

利用多个照明区域进行的检验包含：产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的一部分；利用一或多个角度选择元件使所述初级照明光束的一部分沿着不同于所述第一照明方向的第二照明方向偏转；将所述初级照明光束的所述经传输部分聚焦到衬底的第一检验区域上；及将所述初级照明光束的所述经偏转部分聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上。

主权项

1.一种检验系统，其包括：照明源，其用于产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；一或多个可致动的偏振照明偏转元件，其选择性地可致动于所述初级照明光束内，所述一或多个可致动的照明偏转元件经配置以沿着第一照明方向引导所述初级照明光束的具有第一偏振的第一部分以便形成第一检验光束，所述一或多个可致动的照明偏转元件进一步经配置以沿着第二照明方向引导所述初级光束的具有正交于所述第一偏振的第二偏振的第二部分以便形成第二检验光束，所述第二照明方向不同于所述第一照明方向；及物镜，其经配置以将具有所述第一偏振的所述第一检验光束聚焦到衬底的第一区域上，所述物镜进一步经配置以将具有所述第二偏振的所述第二检验光束聚焦到所述衬底的第二区域上，所述第一区域与所述第二区域空间分离；以及一或多个图像传感器，其中所述一或多个图像传感器经配置以分别收集从所述衬底的所述第一区域射出的照明以及从所述衬底的所述第二区域射出的照明，其中从所述衬底的所述第一区域射出的所述照明与从所述衬底的所述第二区域的所述照明互不干扰。