[发明专利]检查装置及磁光晶体的配置方法

摘要

本发明的一个方面的检查装置包含：光源，其输出光；MO晶体，其与半导体器件(D)相对地配置；物镜，其将自光源输出的光汇聚于MO晶体；保持器，其保持MO晶体；可挠性构件，其介于MO晶体与保持器之间；及物镜驱动部，其通过使保持器沿物镜的光轴方向移动，而使MO晶体抵接于半导体器件(D)；当MO晶体抵接于半导体器件(D)时，可通过可挠性构件的挠曲，而使MO晶体中的光的入射面于该入射面相对于与物镜的光轴正交的面的倾斜角度为物镜的孔径角以下的范围内，相对于与光轴正交的面倾斜。

主权项

1.一种检查装置，其包括：光源，其输出光；磁光晶体，其与测量对象物相对地配置；透镜部，其将所述光汇聚于所述磁光晶体；保持器部，其保持所述磁光晶体；可挠性构件，其介于所述磁光晶体与所述保持器部之间；及驱动部，其通过使所述保持器部沿所述透镜部的光轴方向移动，而使所述磁光晶体抵接于所述测量对象物；所述磁光晶体抵接于所述测量对象物时，通过所述可挠性构件的挠曲，而使所述磁光晶体中的所述光的入射面可在所述入射面相对于与所述光轴正交的面的倾斜角度为所述透镜部的孔径角以下的范围内倾斜，所述磁光晶体在与样品抵接的面上具有反射膜，该反射膜使所述光的一部分反射，且使一部分透过。