[发明专利]柔性基底上的微机电系统装置

摘要

本发明描述了一种包括一个或多个MEMS元件的柔性膜，以及包括所述柔性膜的制品。所述柔性膜包括在两个金属层之间的聚合物层，其中所述金属层中的一者包括穿孔。所述聚合物层包括空隙区域，从而允许所述两个金属层发生相对运动。

主权项

1.一种柔性膜，所述柔性膜包括：具有第一外主表面和第一内主表面的第一金属层；与所述第一金属层相邻的第一聚合物层，所述第一内主表面面向所述第一聚合物层；具有第二外主表面和第二内主表面的第二金属层，所述第二金属层与所述第一聚合物层相邻设置并与所述第一金属层相对，所述第二内主表面面向所述第一聚合物层，其中，所述柔性膜包括一个或多个MEMS元件，每个MEMS元件包括：所述第一金属层中的第一金属区域，所述第一金属区域包括第一穿孔；所述第一聚合物层中的第一空隙区域；以及所述第二金属层中的第二金属区域，所述第二金属区域包括能够相对于所述第一金属区域运动的部分；其中所述柔性膜足以柔韧到使所述柔性膜能够被卷绕成一卷柔性膜。