[发明专利]用于将飞秒或皮秒激光束掩模投射到衬底表面上的设备

摘要

本发明涉及一种用于将飞秒或皮秒激光束掩模投射到衬底表面上的设备，其中由激光束脉冲组成的激光束在光轴的位置处形成以产生具有扩展的激光束横截面的激光束脉冲或具有减小的激光束横截面的激光束脉冲，并且所述激光束在激光束横截面上具有均匀强度分布。该设备还包括场透镜系统和成像透镜，其以这样的方式定位，使得由光阑和掩模透射的激光束脉冲的非衍射和衍射光束分量借助于场透镜系统以这样的方式被引导到具有预定孔径的成像透镜中，使得由光阑和掩模生成的强度剖面的在每个细节上精确并且具有预定成像比的缩小图像在成像平面中的激光束脉冲的激光束横截面上生成。

主权项

1.一种用于将飞秒或皮秒激光束掩模投射到衬底表面上的设备，包括产生脉冲激光束(2)的飞秒激光器或皮秒激光器，其中，由激光束脉冲组成的激光束(2)在光轴(5)的位置(P)处形成以产生具有扩展的激光束横截面的激光束脉冲或具有减小的激光束横截面的激光束脉冲，并且所述激光束在激光束横截面上具有均匀强度分布，具有预定光阑孔径几何形状的光阑(6)和具有预定掩模孔径几何形状的掩模(7)连续地定位在所述位置(P)处的光束路径中，所述设备还包含：场透镜系统(8)和成像透镜(10)，场透镜系统(8)和成像透镜(10)以这样的方式定位，使得由所述光阑(6)和所述掩模(7)透射的激光束脉冲的非衍射和衍射光束分量借助于所述场透镜系统(8)以这样的方式被引导到具有预定孔径的所述成像透镜(10)中，使得由所述光阑和所述掩模生成的强度剖面在每个细节上精确并且具有预定成像比(V)的缩小图像(14)在成像平面(11)中的激光束脉冲的激光束横截面上生成，在光束引导变型1中，加入的透镜系统(16)、所述场透镜系统(8)和所述成像透镜以这样的方式相对于彼此定位，使得在所述成像透镜(10)和衬底表面(12)之间生成焦点1(19)，并且在光束引导变型2中，所述加入的透镜系统(16)、所述场透镜系统(8)和所述成像透镜以这样的方式相对于彼此定位，使得在所述场透镜系统(8)和所述成像透镜(10)之间生成焦点2(22)，存在至少一个真空容器，该至少一个真空容器取决于所述变型而围绕所述焦点1(19)或所述焦点2(22)的区域并且还配置成使得该至少一个真空容器具有避免在焦点的区域中出现等离子体所需的真空。