[发明专利]用超声波进行的基于仿真的缺陷分析有效
| 申请号： | 201580026721.2 | 申请日： | 2015-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN106461615B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | K.芬特;H.穆肖弗;S.J.鲁皮奇 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01N29/06 | 分类号： | G01N29/06;G01N29/11;G01N29/26;G01N29/44;G01S7/52 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 侯宇;冯欢 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检查工件(12)的检查设备(10)，其中，检查设备(10)具有用于实施对工件(12)的超声波测量的测量装置(16)以及分析装置(18)。本发明的技术问题在于，对工件(12)中的结构元件(22)如缺陷进行量化。分析装置(18)根据本发明被设成，根据测量装置(16)的超声波测量数据(M)，借助重建方法求取工件(12)的至少一个内部结构元件(22)的数目(N)和位置(X1,X2)，并且使用模拟器(30)根据所求取的每个位置(X1,X2)借助用于至少一个结构元件(22)的模型(28)来求取每个结构元件(22)的至少一个特性，方法是模拟所述超声波测量并且适配每个模型(28)。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 进行 基于 仿真 缺陷 分析 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查工件(12)的方法，该方法包括以下步骤：/n-通过向工件(12)中发送超声波(20)来进行超声波检测并获取对工件(12)的超声波测量值(M)，/n-根据超声波测量值(M)，借助预定的重建方法生成工件(12)的内部结构(14)的成像重建(26)，/n-在所述重建(26)中求取内部结构(14)的至少一个结构元件(22)的数目(N)和位置(X1,X2)，其中，每个结构元件分别表示工件(12)的材料中的非均质性，/n-按照所述位置(X1,X2)，在工件(12)的仿真模型(32)中定位每个结构元件(22)的模型(28)，其中，每个模型(28)均包括可调整的至少一个模型参数(34)，所述模型参数描述了所述结构元件(22)的特性，/n-借助仿真模型(32)来模拟所述超声波检测并由此生成模拟值(S)，其中，模拟值表示当具有由各模型给出的特性的结构元件实际上包含在所述工件中时应当得到的相应超声波测量值，/n-求取模拟值(S)与超声波测量值(M)之间的差值(38)，/n-根据所述差值(38)，按照设成用于减小所述差值的优化规则来改变每个模型参数(34)。/n
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