[发明专利]检查用照明装置及检查系统

摘要

本发明提供一种检查用照明装置，所述检查用照明装置在由被检查对象的特征仅产生少许的反射、透射、散射上的变化，也可在一定的条件下，能够辨别拍摄装置的观察立体角内的光的变化量。具体而言，即使反射、透射、散射的变化极小的特征也可以检测出来。在所述检查用照明装置中包括：面光源(1)，射出检查光；至少一个遮光罩(M1)，位于所述面光源(1)和所述检查对象(W)之间；以及透镜(2)，配置在比所述遮光罩(M1)离所述检查对象(W)近的一侧，以使所述遮光罩位于以该透镜的焦点位置为中心的位置。从所述面光源(1)发出的光因透镜(2)照射到所述检查对象(W)时形成的、对所述检查对象(W)的检查光的照射立体角上，形成由因述遮光罩(M1)形成的暗部区域，根据被检查对象的特征点产生的反射、透射、散射的变化，可改变所述检查光的照射立体角的形状、大小及倾斜角。

主权项

1.一种检查用照明装置，对检查对象照射检查光，其特征在于，所述检查用照明装置适用于检查系统，所述检查系统包括拍摄被所述检查对象反射或透射或散射的光的拍摄装置，所述检查用照明装置具备：面光源，射出检查光；透镜，设置在所述面光源和所述检查对象之间，将由所述面光源发射的光作为对所述检查对象照射的检查光，形成对所述检查对象的照射立体角；以及第一遮光罩，位于所述面光源和所述透镜之间，设置在以所述透镜的焦点位置为中心的前后位置，遮光形成照射到所述检查对象的各点的检查光的照射立体角，至少在所述面光源配置为包括由所述透镜对所述检查对象成像的位置的附近以外的位置的情况下，与从所述透镜照射到所述检查对象的各点的检查光的距离无关，所述检查对象的各点的照射立体角的大小、形状、倾斜角全都相同，相对于在用所述拍摄装置拍摄来自所述检查对象的光时形成的、针对所述检查对象的各点的观察立体角，能够设定照射立体角的形状或大小、倾斜度，以使各点的明暗得到所需的变化。