[发明专利]离子源有效
| 申请号： | 201580022901.3 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN106663578B | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 黄允硕;许闰成 | 申请（专利权）人： | 发仁首路先株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 翟国明 |
| 地址： | 韩国京畿道水原*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 离子源包括磁场部、电极。磁场部的面向被处理物的一侧开放，另一侧被密封。磁场部的开放一侧有内侧磁极和外侧磁极被相离设置，密封另一侧用磁芯连接而在开放一侧形成等离子体电子的加速闭环。内侧磁极具有贯通其内部而向加速闭环方向供应气体的气体注入部。电极是在磁场部内的加速闭环下部与磁场部相离设置。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【主权项】：
1.一种离子源，其特征在于，包括：面向被处理物的一侧开放，另一侧被密封，所述开放一侧上有内侧磁极和外侧磁极被相离设置，在所述密封另一侧用磁芯连接而在所述开放一侧形成等离子体电子的加速闭环，所述内侧磁极具备向所述加速闭环方向供应气体的气体注入部的磁场部；在所述磁场部内所述加速闭环内下部与所述磁场部相离设置的电极；所述气体注入部包括：气体从外部流入的气体流入部；连通于所述气体流入部，沿着所述内侧磁极的长度方向形成，并具有比所述气体流入部更宽剖面的气体分散部；沿着所述内侧磁极的长度方向，一侧连通于所述气体分散部，另一侧向所述加速闭环开放，以比所述气体分散部具有更小剖面的缝状组成而将所述气体向所述加速闭环方向喷出的第一气体喷出部。
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