[发明专利]离子源

权利要求书

1.一种离子源，其特征在于，包括：

面向被处理物的一侧开放，另一侧被密封，所述开放一侧上有内侧磁极和外侧磁极被相离设置，在所述密封另一侧用磁芯连接而在所述开放一侧形成等离子体电子的加速闭环，所述内侧磁极具备向所述加速闭环方向供应气体的气体注入部的磁场部；

在所述磁场部内所述加速闭环内下部与所述磁场部相离设置的电极；

所述气体注入部包括：

气体从外部流入的气体流入部；

连通于所述气体流入部，沿着所述内侧磁极的长度方向形成，并具有比所述气体流入部更宽剖面的气体分散部；

沿着所述内侧磁极的长度方向，一侧连通于所述气体分散部，另一侧向所述加速闭环开放，以比所述气体分散部具有更小剖面的缝状组成而将所述气体向所述加速闭环方向喷出的第一气体喷出部。

2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述气体注入部包括：

沿着所述内侧磁极的长度方向，一侧连通于所述气体分散部，另一侧向基片方向开放，并具有比所述气体分散部更小剖面而将所述气体向所述基片方向喷出的第二气体喷出部。

3.根据权利要求2所述的离子源，其特征在于，所述第二气体喷出部是相离的多个贯通孔或者连续缝。

4.一种离子源，其特征在于，包括：

面向被处理物的一侧开放，所述开放一侧有内侧磁极和外侧磁极被相离设置，另一侧是用磁芯连接，在所述开放一侧形成等离子体点火和电子加速区域，所述内侧磁极或外侧磁极具有一侧向所述被处理物方向开放的气体流入部的磁场部；

与所述磁极或外侧磁极被电绝缘地结合，连通于所述气体流入部，并向所述被处理物方向凸出的气体注入延长部；

与所述磁场部相离设置于所述磁场部内的电极；

所述气体注入延长部是电绝缘体；

所述气体注入延长部包括：

与所述内侧磁极或外侧极结合，并具有连通于所述气体注入部的第一贯通部的电绝缘部件；

与所述电绝缘部件连通，并具有一侧连通于所述第一贯通部，另一侧向所述被处理物方向开放的第二贯通部的管道部件。

5.根据权利要求4所述的离子源，其特征在于，

所述管道部件与所述电绝部件的边界区域具有凹陷部。

6.根据权利要求4所述的离子源，其特征在于，

所述电绝缘部件与所述管道部件的边界区域或与所述内侧磁极或外侧磁极的边界区域具有凹陷部。

7.根据权利要求4所述的离子源，其特征在于，所述气体注入延长部是在所述被处理物方向的端部包括流路变更部。

8.根据权利要求4至7中任一项所述的离子源，其特征在于，

所述等离子体点火和电子加速区域形成多个闭环。

9.根据权利要求8所述的离子源，其特征在于，

包括多个电极，

给所述多个电极生成直流、交流或脉冲电压施加的配电器。

10.根据权利要求4至7中任一项所述的离子源，其特征在于，所述气体注入部包括：

气体从外部流入的气体流入部；

连通所述气体流入部，沿着所述内侧磁极或外侧磁极的长度方向形成，且具有比所述气体流入部更宽剖面的气体分散部；

沿着所述内侧磁极或外侧磁极的长度方向，一侧连通于所述气体分散部，另一侧向所述被处理物方向开放，且具有比所述气体分散部更小剖面的气体喷出部。

11.根据权利要求10所述的离子源，其特征在于，所述气体喷出部由相连的缝或相离的多个通孔组成。